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在這塊膜上有一個加熱電阻和兩個對稱的溫度傳感器(分別位于上游和下游)。
如使加熱電阻保持在一個恒定溫度,
則兩個溫度傳感器的電壓差即可用于測量旁路通道內流過芯片的氣體的質量流量。
該溫度傳感器的熱量低、與介質直接接觸,因此具有許多特定的**,
其中之一就是對于流量變化的響應極快。
帶 CMOS 傳感器的 MFC 具有100 ms 的響應時間,
且靈敏度*,即使流量很小時也是如此。
該在線式傳感器為 CTA(恒溫風速計) 工作原理:
控制加熱電阻 (RS) 和測量電阻 (RT) 之間保持一個恒定的溫差。
這兩個電阻都直接位于氣體通道內;另外三個電阻位于氣體通道之外。
這五個電阻連接成一個測量電橋。
氣體通道中的一個電阻 (RT) 測量介質溫度,
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MFC 中合適的流量調節確保其所測得的質量流量非常**。
由于加熱電阻和測量電阻都直接位于氣體通道內,
所以當設定值或實際值變化時,該傳感器的響應時間極短,
只有幾百毫秒。此外,該傳感器的結構確保其不易受污染物的影響。
與在主管道中進行測量的在線式傳感器不同,
CMOS 傳感器是在旁路管道中進行測量的。
主管道中的層流元件產生一個必需的壓差,使小部分流量進入旁路管道。
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